多晶硅生产过程中主要危险、有害物质中氯气、氢气、三氯氢硅、氯化氢等主要危险特性有：1）氢气：与空气混合能形成爆炸性混合物，遇热或明火即会发生爆炸。气体比空气轻，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火星会引起爆炸。氢气与氟、氯、溴等卤素会剧烈反应。
产生污染 多晶硅是高污染的项目，中国多数多晶硅企业环保不完全达标。生产多晶硅的副产品——四氯化硅是高毒物质。用于倾倒或掩埋四氯化硅的土地将变成不毛之地，草和树都不会在这里生长。它具有潜在的极大危险，不仅有毒，还污染环境，回收成本巨大。
多晶硅在生产过程中可能会释放出氯气和氯化氢。氯气具有刺激性气味，并且能够与多种化学物质反应，产生爆炸性混合物。它对金属和非金属材料具有强烈的腐蚀性，并且作为一种高毒性气体，对人体健康构成威胁。氯化氢在没有水的情况下不具有腐蚀性，但一旦与水接触，就会变得极其腐蚀性。
多晶硅对人体的危害主要是多晶硅在生产过程中会产生氯和氯化氢。氯 有刺激性气味，能与许多化学品发生爆炸或生成爆炸性物质。几乎对金属和非金属都起腐蚀作用。属高毒类。是一种强烈的刺激性气体。氯化氢 无水氯化氢无腐蚀性，但遇水时有强腐蚀性。能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。
譬如搞清洗、腐蚀、电镀等工作，如果防护条件不好或者自己不注意防护，那就容易慢性中毒；如果常用高频加热设备，而又不知道怎么防护，那就容易受到电磁污染；如果是做P、As扩散或者化合物半导体工艺（特别是化合物半导体片的磨、抛工艺），就需要特别防止中毒。
中国电子级多晶硅工业的发展历程可以追溯到20世纪50年代，60年代中期实现了商业化生产，然而由于技术落后、消耗大和成本高等问题，大部分企业在此期间面临亏损并被迫停产或转型。（strong初期挑战与困境）进入21世纪，随着市场需求的激增和高额利润的诱惑，多晶硅产业迅速扩张。
电子级氢氟酸在微电子行业中发挥着至关重要的角色。它主要用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗与腐蚀过程，这是半导体制造工艺中不可或缺的基础化工材料。它的精确控制和应用对于保证芯片的高质量和性能至关重要。
电子级氢氟酸是一种高纯度的氢氟酸溶液，主要用于电子工业中的高纯硅片制造和其他电子材料处理。以下是对电子级氢氟酸的详细解释：基本定义 电子级氢氟酸是氢氟酸的一种高纯度形式。氢氟酸是一种无机酸，由于其特殊的化学性质，特别是在与硅材料反应时表现出的优异性能，被广泛应用于电子工业。
应用于集成电路 （ I C）和超大规模集成电路 （VLSI）芯片的清洗和腐蚀 ，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ，还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前 ，在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ，其他方面用量较少。
在半导体制造过程中，电子级氢氟酸扮演着重要的角色，主要用于清洗和腐蚀。它可以与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等化学物质配伍使用。电子级氢氟酸的技术特点主要体现在其纯度、洁净度和腐蚀性等方面。
1、电子级比优级纯还要高不对。从纯度上来讲，电子级和分析纯的化学品，相对于普通化学品，其纯度都很高，杂质含量少，但是两个属于不同的标准体系，对杂质的关注点不一样。电子级是对用于电子元器件生产过程中使用的化学品的一种泛指，相对于一般工业，其纯度要求更高，尤其是平板显示行业或者半导体行业。
2、电子级：通常来说是纯度特别高的试剂，比如电子级的硅，纯度都有好几个9，用于精密电子器件的生产。除了有电子级还有以下几种：化学纯：标称CP，是质量不太好的试剂，通常成本较低。分析纯，标称AR，是质量好的试剂，通常的化学实验采用着一种试剂。
3、优级纯（GR：Guaranteed reagent），又称一级品或保证试剂，98%，这种试剂纯度最高，杂质含量最低，适合于重要精密的分析工作和科学研究工作，使用绿色瓶签。（2）分析纯（AR），又称二级试剂，纯度很高，97%，略次于优级纯，适合于重要分析及一般研究工作，使用红色瓶签。
4、电子级草酸具体指标查阅相关国家标准或者化学部标准看有没有规定。《化学试剂级别》国标试剂：该类试剂为我国国家标准所规定，适用于检验、鉴定、检测 基准试剂（JZ，绿标签）：作为基准物质，标定标准溶液。优级纯（GR，绿标签）： 主成分含量很高、纯度很高，适用于精确分析和研究工作，有的可作为基准物质。
5、优级纯：又称一级品或保证试剂，98%，这种试剂纯度最高，杂质含量最低，适合于重要精密的分析工作和科学研究工作，使用绿色瓶签。分析纯：又称二级试剂，纯度很高，97%，略次于优级纯，适合于重要分析及一般研究工作，使用红色瓶签。